標(biāo)題：擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體

產(chǎn)品概述

擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體是一種采用不銹鋼波紋膜片隔離的充油式OEM壓力敏感元件。被測(cè)壓力通過(guò)隔離膜片和灌注的硅油傳遞到具有惠斯登電橋的精密力學(xué)結(jié)構(gòu)的硅壓敏芯片上，實(shí)現(xiàn)了被測(cè)壓力和模擬信號(hào)精確轉(zhuǎn)換，再通過(guò)一個(gè)定制的集成電路進(jìn)行溫度補(bǔ)償和非線性修正并輸出符合I2C、SPI、MODBUS 485協(xié)議的壓力數(shù)據(jù)和溫度數(shù)據(jù)。數(shù)字輸出經(jīng)過(guò)歸一化，應(yīng)用性強(qiáng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式

● 隔離式結(jié)構(gòu)，適用于多種流體介質(zhì)

應(yīng)用領(lǐng)域

● 壓力檢測(cè)儀表

● 制冷設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)

● 液壓系統(tǒng)及開(kāi)關(guān)

● 壓力校準(zhǔn)儀器

擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體技術(shù)規(guī)格                                

技術(shù)特點(diǎn)：

1、靈敏度高

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率*。

2、精度高

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。

3、可靠性高

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片zui大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí)，且無(wú)機(jī)械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。平均*時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻*性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。